Kinetic studies of free radicals in reactive gas glow discharges using optical laser diagnostics
4РП — Обучение и мобилност на изследователи
- Период
- 1996-10-01 → 1999-09-30
- Финансиране от ЕС
- —
- Участници
- 2
- Схема
- RGI
Линиите свързват координатора с партньорите. За проекти отпреди 2014 г. CORDIS не винаги дава точни координати. Тези точки са на ниво град или държава.
Накратко на български
Лазерна диагностика анализира поведението на свободни радикали, като например тези в плазма от метан или силан. Данните помагат за проверка на компютърни модели и разбиране на процесите при създаване на тънки слоеве от силиций и въглерод.
Кратко обяснение, генерирано от езиков модел по текста на CORDIS. Оригиналът е по-долу.
Цел на проекта
The project concerns the development and use of laser diagnostics to study the kinetic of radicals in CH4, SiH4, NH3, H2 glow discharges. First, laser-induced fluorescence will be used to detect SiH and CH radicals in realistic conditions of Si and C film depositions. The results will be normalized with previously obtained mass spectrometry radical measurements. Second, a new laser system based on diode-laser injection-seeded optical parametric oscillator will be developed to detect hydrogen atoms using two-photon absorption laser-induced fluorescence. This diagnostic will be used to determined the H atom concentration profiles in the plasma. The influence of the nature of the substrate on the atom concentration will lead to the determination of surface loss probabilities. These measurements will complement the results previously obtained using other diagnostic techniques like optical emission, masse spectrometry and coherent anti-Stokes Raman scattering. Finally, experimental data will be used to interactively validate numerical models currently developed in the laboratory.
Оригинален текст от CORDIS (на английски).
Участници
Връзки
Данни: CORDIS, © Европейски съюз